サイズの常識を一新、超小型、超軽量。 新測定原理「白色同軸共焦点*」を搭載した高精度変位センサを発売 | オムロン
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サイズの常識を一新、超小型、超軽量。
新測定原理「白色同軸共焦点*」を搭載した高精度変位センサを発売

  • 2012年2月9日
  • オムロン株式会社

*特許出願中

ファイバ同軸変位センサ 形ZWシリーズ

オムロン株式会社は、下記の新商品を2月10日から発売します。

ファイバ同軸変位センサ 

ファイバ同軸変位センサ 形ZWシリーズ

本商品は、新測定原理「白色同軸共焦点」により、画期的なダウンサイジングと高精度化を実現した非接触式変位センサです。

変位センサは、検査対象物の高さや幅・厚みを測定するセンサです。
近年、デジタル家電や電子部品、FPDなどの製造工程では、製造装置のさらなる小型化、高精度化が進んでおり、搭載する機器に対しても小型化のニーズが高まっています。変位センサにおいては、小型化に加え駆動系機器からのノイズ対策、対象物の材質や色、傾きの影響を受けない測定の安定性などが求められています。

今回発売する形ZWシリーズは、これらの要求に応えるべく新開発した測定原理「白色同軸共焦点」を搭載した非接触式高精度変位センサです。
従来の測定原理「三角測距」を採用した変位センサでは実現できなかったセンサヘッドの超小型化、超軽量化、測定の高精度化と共に、対象物の素材、色による測定誤差を大幅に解消した安定性を実現しています。さらに、センサヘッドにノイズの影響を受けやすい電子部品を搭載していないため、ノイズに強い構造で装置組み込みに最適です。

主な特長

  1. 超小型、超軽量
    形ZWシリーズのセンサヘッドは□24mmというスリムサイズ。重さはわずか105g。従来の三角測距センサと比較して、体積比1/8、質量比1/6という小型化を実現しました。(当社従来比)

    超小型、超軽量センサヘッド

    センサヘッドが軽量のため、稼働部に取り付けても振動を抑えた移動・停止が可能。安定した測定に貢献します。

    振動を抑えた移動・停止が可能

    また、センサヘッドとコントローラの接続には装置周囲に引き回ししやすい耐屈曲ファイバケーブル(ケーブル直径2mm、最小曲げ半径20mm)を採用。稼働部への使用にも安心です。

  2. ノイズの影響を受けにくいセンサヘッド構造
    センサヘッドにはノイズの影響を受けやすい電子部品を搭載しておらず、コントローラとはファイバケーブルで接続されているので、ノイズが発生しやすい場所でも安定した測定が可能です。また、同時にノイズや熱を発生しないので、周辺の機器にも悪影響を与えることもありません。スペースが限られた装置に他機器と組み合わせて使用する場合でも安心してお使いいただけます。

  3. 検出安定性を革新した新測定原理
    「白色同軸共焦点」とは、光の色情報(波長)を利用して高さを測定する新しい測定原理です。
    変位センサに一般的に使用されるレーザ光ではなく、白色LED光を採用。LEDから出た白色光はセンサヘッド内の特殊レンズ群OCFL*モジュールにより色 (波長) ごとに異なった位置で焦点を結びます。 その結果、対象物の高さに応じて焦点の一致した色の光が返ってくるため、反射光の色情報からセンサヘッドと対象物の距離を測定することができます。
    測定対象物から反射した光のピークを検出することで高さを測定していた従来の三角測距方式に比べ、対象物の材質や色、傾きに影響されにくく、安定した測定が可能です。
    さらに、測定分解能は0.02μmと高く、高精度な位置決めや高さ測定にもお使いいただけます。

    *OCFL:Omron Chromatic Focus Lens(色収差焦点レンズ)

    白色同軸共焦点
    白色同軸共焦点

    材質間誤差に強く安定測定
    材質間誤差に強く安定測定

    ±8°の傾き、たわみでも高精度に測定
    ±8°の傾き、たわみでも高精度に測定

  4. アプリケーション

    ディスペンサーノズルの高さ制御
    ディスペンサーノズルの高さ制御

    貼り合せ時の高さ検査
    貼り合せ時の高さ検査

主な仕様

  センサヘッド 形ZW-S20 センサヘッド 形ZW-S40
測定範囲 20±1mm 40±6mm
スポット径 φ40μm φ80μm
分解能 0.02μm 0.08μm
リニアリティ ±1.2μm ±7.0μm
外形寸法 24mm×24mm×64mm
質量 約105g

※センサヘッドは、ZW専用コントローラ形ZW-C10/-C10A、形ZW-C15/-C15Aとセットで使用。

標準価格(税抜)

オープン価格

お客様からのお問い合わせ先

オムロン株式会社
インダストリアルオートメーションビジネスカンパニー
アプリセンサ事業部 山本真之
TEL: 075-344-7068

報道関係のお問合せ先
オムロン株式会社
インダストリアルオートメーションビジネスカンパニー
事業企画部 広報担当 村越
〒108-0075 東京都港区港南2-3-13 品川フロントビル7F
TEL: 03-6718-3581