環境センシングシリーズ第一弾 クリーン環境を「まるごと」見える化する 新世代エアパーティクルセンサ2機種を同時発売 | オムロン
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環境センシングシリーズ第一弾
クリーン環境を「まるごと」見える化する
新世代エアパーティクルセンサ2機種を同時発売

  • 2009年4月15日
  • オムロン株式会社

オムロン株式会社は、下記の新商品を4月13日から発売します。

  • エアパーティクルセンサ 「ZN-PD-S シリーズ」 <イメージ写真>
    形ZN-PD03-S (微粒子計測タイプ)
    形ZN-PD50-S (粗粒子計測タイプ)
    形ZN-SW11-S (環境見える化ソフトウェア)

<詳細URL> http://www.fa.omron.co.jp/particle/

半導体やフラットパネルディスプレイの製造現場ではもちろん、携帯電話やデジタルカメラに代表されるように電子機器の小型化・高機能化が進む製造現場においては、パーティクルを原因とするトラブルが製品の品質に大きな影響を与えています。また、今後の成長が期待される太陽電池や二次電池の製造工程においてもこうした異物管理は製品の品質を確保する上での重要管理事項となりつつあります。

一方で、半導体の製造現場など特に高いクリーン度が要求されるクリーンルームでは、大量のFFU(ファンフィルタユニット)や空調設備を導入しているため、電気の使用量が大幅にアップし、製造現場を省エネ化するための大きな阻害要因になっています。製品品質を確保するためにFFUや空調設備は必要だが、製造現場の省エネ化のためには、電力を大量に使用する設備はできるだけ稼働させたくないという、相反する課題が増加しています。
そのため、必要な部分だけをクリーン化する「局所クリーン」を検討される企業が増えており、「局所クリーン」化した部分が必要なクリーン度を保てているのかどうかを管理することが重要な課題となっています。

[オムロンの商品コンセプト]
オムロンはこれまで自社を含むセル生産をおこなう製造現場や、電子部品製造工程の局所クリーン化ニーズに応えるため、「エアクリーンユニット」、「エアパーティクルセンサ」、「イオナイザユニット」のクリーンセンシング機器を開発し、発売してきました。
今回はその中で培ったノウハウや実績を活かし、最近増加しつつある「製造"環境"の見える化」という新たなニーズにお応えするため、全く新しい「環境センシングシリーズ」を順次発売していくことを決定しました。温湿度やパーティクル、静電気など製造現場における、あらゆる環境情報をセンシングし、常時「見える化」することで、製品品質の維持向上や無駄エネルギーの発見に貢献してまいります。

<環境センシングシリーズ第一弾:エアパーティクルセンサ>

今回発売するエアパーティクルセンサは環境センシングシリーズの第一弾であり、お客様に大きく二つのソリューションを提案いたします。

  • (1)浮遊するパーティクル(微粒子)を高精度に常時管理する
  • (2)落下するダスト(粗粒子)をかつてない手軽さで管理する

(1)高精度計測と常時計測を両立させた微粒子計測タイプ(形ZN-PD03-S)

これまで、0.3μm~1.0μmの微粒子計測は、一般的にはパーティクル計測機を用いて人の手で定点測定している場合がほとんどでした。しかし、こうした場合は時間ごとや曜日ごとなど、時系列的な傾向がつかみにくいだけでなく、断続的な測定となるため、万一不具合が発生した場合の解析に十分活用することができませんでした。
今回発売する微粒子計測タイプのパーティクルセンサ(形ZN-PD03-S)なら、導入コストを大幅に抑制しながら0.3μm、0.5μm、1.0μmの微粒子を高精度に同時計測できますので、トレーサビリティや不具合時の解析、工数削減に大きく貢献します。

特長1 <計測器に迫る高精度計測>

徹底的に整流化した内部構造と大吸引ファンで、2.83L/minの吸引量を確保。高精度変位センサで培ったオムロンのレーザ光学設計技術により、計測器並みの精度を実現しました。

特長2 <常時計測に適した省メンテナンス設計>

長時間駆動が可能なファンの採用とレーザ間欠照射モードによるレーザ寿命の向上により、メンテナンスの工数を大幅に削減できます。また、短寿命のため頻繁な交換が必要な外付けポンプを不要としているため、メンテナンスコストも削減できます。

(2)ダスト計測と発塵源調査を1台で実現可能な粗粒子計測タイプ(形ZN-PD50-S)

クリーンルームではない一般環境で造られる製造物の品質に影響を及ぼす異物は、人や装置から発塵される、粗い粒子(5μm~50μm程度)いわゆるダストである場合が大半ですが、これまでこういった粗粒子は管理規格もなく測定する機器も一般的ではなかったため、容易に管理することができませんでした。
今回発売する粗粒子計測タイプのパーティクルセンサ(形ZN-PD50-S)は、これまで容易に実現できなかったダスト管理をかつてない手軽さで実現します。

特長1 <落下するダストを効率的に計測>

漏斗形状の吸引部を採用。大吸引ファンとの組合せで、落下するダストを確実に吸引します。大きなダストはフィルタがキャッチするので、目詰まりも起こしにくく、交換も簡単です。

特長2 <ダストキャッチ機能で発塵源の特定に貢献>

引き出し構造のトラップボックスに両面テープを貼付すれば、吸引したダストを捕捉できます。捕捉したダストを拡大観察することで、発塵源の特定につながります。

(3)計測データを異常の早期発見、傾向分析に活かす、環境見える化ソフト 「WaveInspireES」

環境見える化用PCソフト WaveInspireES (形ZN-SW11-S)は、LAN接続したパーティクルセンサの計測データを簡単にグラフ化したり、ロギングしたりできます。
日々の変化をグラフで確認することもできるので、トレーサビリティや不具合の解析に役立ちます。
また、設置したパーティクルセンサの計測値をお客様の現場レイアウト図上に表示できるので、製造現場の清浄度が一目でわかります。

今回発売するエアパーティクルセンサには、トリガ入力と2段階のアラーム出力とエラー出力を装備。トリガ入力で必要なときだけ計測したり、管理レベルに応じた警報を出力したりできます。
また、LANポートを標準搭載していますので、パソコンとイーサネットハブだけで簡単に多点監視システムを構成することが可能です。
さらに、PLC(推奨:当社製 SYSMAC CS/CJシリーズ Ethernetユニット)と接続して、製造環境に応じた独自の省エネシステムを構築していただけます。

標準価格(税抜)

オープン価格

担当工場

綾部工場

目標販売台数

2009年度 2,000台

主な仕様

形式 微粒子計測タイプ 粗粒子計測タイプ
ZN-PD03-S ZN-PD50-S
測定方式 90°側方散乱方式
光源 半導体レーザ
測定粒子径 0.3μm/0.5μm/1.0μm 相当以上 5(10)μm/20(30)μm/50μm 相当以上*1
個数濃度 最大100,000個/cf 最大50,000個/cf
吸引量 2.8L/min以上 6.0L/min以上
判定出力(2出力) フォトカプラ出力
(判定出力はレベル表示灯と連動)
エラー出力
トリガ入力 フォトカプラ入力
通信インターフェイス LANポート(TCP/IP)
表示 レベル表示灯:4段階(各レベル設定可能)
メイン7セグ表示(6桁):計測値(個/cf・個/L・カウント値切替)
サブ7セグ表示(6桁):対象粒子径
計測モード リアルタイム計測モード、サイクル計測モード、外部トリガ計測モード
電源電圧 DC19V*2
消費電流 1A MAX(付属ACアダプタから入力)
周囲温度範囲 動作時:0~35℃ 動作時:0~40℃
保存時:-15~50℃(ただし、結露・氷結しないこと)
周囲湿度範囲 動作時/保存時:35~85%RH(ただし、結露・氷結しないこと)
絶縁抵抗 20MΩ(DC500Vメガにて)
耐電圧 AC1000V 50/60Hz 1min
振動(耐久) 10~55Hz 複振幅0.3mm 50min
材質 ABS
保護構造 IP20
取付方法 DINレール取付、据置設置
質量(梱包状態) 約1.7kg
付属品 取扱説明書、ACアダプタ
接続チューブ(内径Φ10、長さ:1m 1本) フィルタ(1個)
  • *1 ( )は設定により、選択可能。
  • *2 ご使用の際は、必ず本製品付属のACアダプタを使用してください。

詳細お問合せ先
オムロン株式会社
インダストリアルオートメーションビジネスカンパニー
センシング機器統轄事業部
成長事業推進部 環境センシンググループ
井上 宏之
〒600-8530 京都市下京区塩小路通堀川東入
TEL:075-344-7211
URL:http://www.fa.omron.co.jp/particle/