半導体検査装置
半導体検査装置

リレー

1

[制御基板]
テスト信号切替
MOS FETリレー
G3VM

スイッチ

2

[操作パネル]
各種設定
タクタイルスイッチ
B3SL

スイッチ

3

[操作パネル]
各種設定
タクタイルスイッチ
B3FS

スイッチ

4

コネクタ

5

[センサ配線]
センサ配線
e-CONコネクタ
XN2

コネクタ

6

[基板対電線]
信号/電源接続
MILコネクタ
XG2/4/5

コネクタ

7

[インターフェース]
RS232C他シリアル通信
Dサブコネクタ
XM2/3