総集積技術
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縦集積技術

縦集積技術とは、離散的な構成部品と集積回路を組み合わせ、基板やチップ上に高密度に実装してデバイスを構成する技術です。
マイクロアクチュエータで超小型機械部品を駆動するシステムを最大限に活用するには、センサと論理回路をアクチュエータとともに集積化することが必要であり、集積化することで、種々の情報をセンサで検出しながら、論理回路で情報処理を行なうことで、自律的制御を可能にします。

2大要素技術を開発

(1)高アスペクト貫通配線形成技術 (2)高精度ウェハレベル接合技術