薄膜センサ技術t

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薄膜センサ技術

薄膜センサ技術とは、MEMSチップ上に薄膜部分を形成して、薄膜上にセンシング素子を配置することで、 熱感度の高いセンサを構成する技術です。
熱感度向上と機械強度の両立のために強度の高い薄膜形成が必要であり、応力制御技術を用いて形成します。

シリコンのエッチングシミュレーション