静電センサ技術
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静電センサ技術

静電センサ技術とは、圧力・加速度等の物理量を静電容量の変化として検知する技術です。
物理量に応じて変形(変位)する部位を備えた構造が特徴で、ウェハ接合技術・ディープエッチング技術などを用いて構造を形成します。

静電容量式圧力センサの構造