静電アクチュエーター技術

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静電アクチュエータ技術

静電アクチュエータ技術とは、アクチュエータの駆動に静電引力を利用する技術です。
静電センサ技術と類似ではあるが、静電アクチュエータは駆動電圧が、比較的高い傾向があり、低駆動電圧を実現するために構造にさまざまな工夫がなされています。静電センサ技術同様、ウェハ接合技術・ディープエッチング技術などが用いて構造を形成します。