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形D6F-PH MEMS 差圧センサ

小型、高精度、耐環境性に優れた差圧センサ

  • ±3%RDの高精度
  • 直線補正、温度補正を実施
  • デジタル出力(I2C通信)
  • バイパス形状の影響を減らす高流量抵抗
  • 4種類のスレーブアドレスモデルをラインアップ
RoHS適合
本ページは製品カタログからの抜粋した情報を記載しています。その他の製品情報はデータシート他各種データをご覧ください。
(納期・価格についてはお取引き商社にお問い合わせください。)
適用流体 *1計測範囲 *3スレーブアドレス(7bit)形式
空気 *20~250Pa0b110_1100, 0x6C形D6F-PH0025AD1
0b110_1101, 0x6D形D6F-PH0025AD1-1
0b110_1110, 0x6E形D6F-PH0025AD1-2
0b110_1111, 0x6F形D6F-PH0025AD1-3
-50~50Pa0b110_1100, 0x6C形D6F-PH0505AD3
0b110_1101, 0x6D形D6F-PH0505AD3-1
0b110_1110, 0x6E形D6F-PH0505AD3-2
0b110_1111, 0x6F形D6F-PH0505AD3-3
-500~500Pa0b110_1100, 0x6C形D6F-PH5050AD3
0b110_1101, 0x6D形D6F-PH5050AD3-1
0b110_1110, 0x6E形D6F-PH5050AD3-2
0b110_1111, 0x6F形D6F-PH5050AD3-3
*1:適用流体以外のガス種については営業担当者まで問い合わせください
*2:ダスト、オイル、ミストなどを含まない乾燥空気
*3:標準大気圧(1013.25 hPa)時の圧力


■定格/性能
形式形D6F-PH0025AD1-□形D6F-PH0505AD3-□形D6F-PH5050AD3-□
計測範囲*10~250Pa±50Pa±500Pa
適用流体*2空気
継ぎ手形状タケノコ継ぎ手、最大外径φ4.9mm、最小外径φ4.0mm
電源電圧2.3~3.6V
消費電力無負荷、Vcc=DC3.3V、GND=DC0V、25℃において、6mA以下
分解能12bit
ゼロ点精度*4±0.2Pa
スパン精度*4±3%R.D.
温度特性スパン10°Cごとに、±0.5%R.D.未満
応答速度Typ. 33ms、Max. 50ms(12bit)
変換時間 Typ. 6ms(12bit)
センサ通過流量*363mL/min未満23mL/min未満100mL/min未満
通信方式I2C
ケース材質PPS
保護構造IEC IP40(配管部を除く)
耐圧10kPa
動作温度範囲*5-20~+80℃
動作湿度範囲*535~85%RH
保存温度範囲*5-40~+80℃
保存湿度範囲*535~85%RH
絶縁抵抗センサ外壁とリード端子間20MΩ以上(DC500V絶縁抵抗)
耐電圧センサ外壁とリード端子間 AC500V 50/60Hz 1分間 (リーク電流 1mA以下)
質量5.2g
*1:標準大気圧(1013.25 hPa)時の圧力
*2:ダスト、オイル、ミストなどを含まない乾燥空気
*3:形D6F-PHは熱フロー原理に基づいています。差圧測定には空気の流れが必要です。
典型的な流量と差圧の関係は以下に示す特性となります。
*4:ゼロ点精度とスパン精度は独立した誤差であり、同時に満足するものではありません。
*5:カスタムオプションとして以下の機能があります。
詳しくは当社営業担当者までご連絡ください。
・温度測定
・アドレス設定(最大4アドレス)
・故障検知
・閾値設定
(単位:mm)

 


使用上の注意

●センサの使用用途について

形D6Fは一般機器での使用を前提に製造されています。特に下記のような安全性が要求される用途に使用する場合は、フェールセーフ設計・冗長設計および定期点検の実施など、システム・機器全体の安全に配慮していただいた上で使用してください。
・人体保護を目的とした安全装置
・輸送機器の制御(走行停止用途など)
・航空・宇宙機器
・原子力機器など
形D6Fの働きが直接人命にかかわる用途には使用しないでください。

●流体と配管取り付け、センサ設置について

<共通>

( 1 )流体は清浄なものを使用してください。ダスト・ミストにより特性変化や故障の原因になる場合がありますので、配管上流側にフィルタ、ミストセパレータを設置してください。(形D6F-W、形D6F-V、形D6F-P、形D6F-PHを除く)
( 2 )適応流体以外の可燃性ガス(水素など)、腐食性ガス(塩素、硫黄、酸、アルカリなど)は故障の原因となりますのでご使用にならないでください。
( 3 )適用流体以外の流体については性能保証範囲外となります。
( 4 )配管内への異物の混入は故障の原因となるため、梱包袋から取り出した後は配管内に異物が入らないようにしてください。
( 5 )配管の取り付けは、本体に表示された矢印の方向に流体が流れるようにしてください。誤配管の状態では正しい計測ができません。(形D6F-V/-P/-PHを除く)
( 6 )配管の取りつけ方向は、水平を推奨します。 水平にならない場合は±1%F.S.以上の誤差の原因となる可能性があります。(形D6F-A3を除く)
( 7 )センサの設置は、平面に行ってください。正しく取り付けられていない場合、故障の原因や正しい計測ができない場合があります。
( 8 )センサの設置は、設備の電源をOFF にした状態で行ってください。電源がONの状態で作業を行うと、感電や誤動作などの原因となります。
( 9 )センサの設置後は、必ず動作確認を実施してください。
( 10 )センサを落下させたり、カバーなどを分解しないでください。

<形D6F-PH>

( 1 )周囲環境や取り付け位置によっては、塵埃などの異物がセンサ内部に侵入し、流路の一部または全部が詰まったり、内部に付着したりすることがあります。その結果、センサが前記の特性を発揮できないことがありますので、ご採用に際しては、十分にご理解・ご配慮のうえ、貴社実機にて事前評価されてから使用してください。
( 2 )配管の取り付けは、高圧側から低圧側に流体が流れるようにしてください。
( 3 )センサの設置には、M1.8 なべねじ、または同等の径をもつタッピングねじを使用し、締め付けトルクは0.36N・m以下としてください。
( 4 )センサ出力は配管長の影響を受けます。 800mmの長さまでのチューブ(内径4mm)の誤差は1%以下です。
( 5 )接続について
・端子の極性は誤配線のないようにしてください。故障の原因となります。
・DIPはんだ(フローはんだ)は使用しないでください。
・製品を基板に固定してからはんだ付けをしてください。
・はんだ条件は、はんだごてを使用し、押圧100gf以下、温度350℃、時間5秒としてください。

●使用環境について

下記の環境では使用しないでください。
・加熱機器からの輻射熱を直接受けるところ
・水、油のかかるところ
・直接日光があたるところ
・温度変化の激しいところ
・氷結、結露の恐れのあるところ
・振動、衝撃の影響が大きいところ

●ノイズ対策について

ノイズにより正しい計測ができない場合があります。使用にあたり以下の配慮を行ってください。
・強い高周波を発生する機器(高周波ウェルダ、高周波ミシンなど)やサージを発生する機器から、できるだけ離して設置してください。
・ノイズを発生している周辺機器(特に、モータ、トランス、ソレノイド、マグネットコイルなどのインダクタンス成分を持つもの)には、サージアブソーバやノイズフィルタ等のノイズ対策を実施してください。(配管やダクトを別にする、シールド線を使用するなどの方法も効果があります。)

●電源について

・本製品に接続するコネクタ端子の挿入は20N以下で行ってください。電線の引き回しは、コネクタに電線の曲げによるテンション以上の力が加わらないように配慮してください。またコネクタの挿抜は、電線を一括保持し、嵌合軸に対して同軸上に挿入し、引抜は15°以内の角度で行ってください。
・コネクタ接続端子に直接はんだ付けすると故障の原因になるため適用のコネクタを使用してください。(形D6F-PHを除く)
・端子名称および極性を確認して正しく配線してください。誤配線すると内部の部品の故障の原因となります。
・市販のスイッチングレギュレータを使用の際には、FG(フレームグランド端子)およびG(グランド端子)を接地してください。

●取り扱いについて

本製品は精密機器であり、落下させたり過度な衝撃、力を加えたりすると故障や特性変化を起こしますので、落下させたり、分解したり、必要以上に端子部に力を加えないでください。落下した製品は使用しないでください。
・本製品は、管理された静電気放電保護エリア内で取り扱いを行ってください。

RoHS 指令について

RoHS規制6物質の使用を廃止した製品(工程内および基板搭載電子部品含む)には、梱包にRoHSマークを表示しています。
※ 仕入先様の事情により、RoHS対応済み部品としていたものが、RoHS非対応品と判明した場合などやむなく削除することがあります。

●RoHS適合判定基準

RoHS指令6物質の適合判定は次の基準を用いています。
(RoHS指令適用除外項目は除く)
・ 鉛:1000ppm以下
・ 六価クロム:1000ppm以下
・ 水銀:1000ppm以下
・ PBB :1000ppm以下
・ カドミウム:100ppm以下
・ PBDE :1000ppm以下