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形D6F-A6 MEMSフローセンサ

小型で50L/minの流量域まで高精度センシングを実現

  • 空気10~50L/minの質量流量を高精度に計測。
  • 縦30mm×横78mm×高さ30mmの小型化を実現。
RoHS適合
本ページは製品カタログからの抜粋した情報を記載しています。その他の製品情報はデータシート他各種データをご覧ください。
(納期・価格についてはお取引き商社にお問い合わせください。)
●本体
継ぎ手適用流体流量範囲形式
Rc 1/4ねじ空気0~10L/min形D6F-10A6-000
0~20L/min形D6F-20A6-000
0~50L/min形D6F-50A6-000
NPT 1/8ねじ0~10L/min形D6F-10A61-000
0~20L/min形D6F-20A61-000
0~50L/min形D6F-50A61-000


●アクセサリ(別売)
種類形式
ケーブル形D6F-CABLE1
注. アクセサリの詳細は、39ページの「D6Fシリーズ アクセサリ」をご覧ください。
■性能
形式形D6F
-10A6-000
形D6F
-20A6-000
形D6F
-50A6-000
形D6F
-10A61-000
形D6F
-20A61-000
形D6F
-50A61-000
流速範囲 *10~10L/min0~20L/min0~50L/min0~10L/min0~20L/min0~50L/min
適用流体 *2空気
継ぎ手形状Rc 1/4ねじNPT 1/8ねじ
端子仕様3端子コネクタ
電源電圧
(使用電圧範囲)
DC10.8~26.4V
消費電流無負荷、 Vcc=DC12~24V、 25℃において、 15mA以下
出力信号DC1~5V(非リニア出力、負荷抵抗10kΩ以上)
精度±3%F.S(. 25℃特性)
再現性 *3±0.3%F.S.
最高出力電圧DC5.7V(負荷抵抗10kΩ)
最低出力電圧DC0V(負荷抵抗10kΩ)
絶対最大定格電源電圧DC26.4V
絶対最大定格出力電圧DC6V
ケース材質PPS/アルミ合金
保護構造IEC規格 IP40(配管部を除く)
耐圧500kPa
圧力損失 *30.10kPa0.28kPa1.44kPa0.15kPa0.52kPa2.31kPa
動作周囲温度*4-10~+60℃
動作周囲湿度*435~85%RH
保存周囲温度*4-30~+80℃
保存周囲湿度*435~85%RH
温度の影響周囲温度 -10~+60℃では、25℃特性の±3%F.S.
絶縁抵抗センサ外壁とリード端子間20MΩ以上(DC500V絶縁抵抗)
耐電圧センサ外壁とリード端子間 AC500V 50/60Hz 1分間( リーク電流 1mA以下)
質量103g
*1. ただし、0℃、1気圧での体積流量を意味する。
*2. ダスト、オイルミストを含まない乾燥・清浄気体であること。
*3. 参考値(代表値)
*4. ただし、氷結・結露しないこと。



●接続

   

 

使用上の注意

●センサの使用用途について

形D6Fは一般機器での使用を前提に製造されています。特に下記のような安全性が要求される用途に使用する場合は、フェールセーフ設計・冗長設計および定期点検の実施など、システム・機器全体の安全に配慮していただいた上で使用してください。
・人体保護を目的とした安全装置
・輸送機器の制御(走行停止用途など)
・航空・宇宙機器
・原子力機器など
形D6Fの働きが直接人命にかかわる用途には使用しないでください。

●流体と配管取り付け、センサ設置について

<共通>

( 1 )流体は清浄なものを使用してください。ダスト・ミストにより特性変化や故障の原因になる場合がありますので、配管上流側にフィルタ、ミストセパレータを設置してください。(形D6F-W、形D6F-V、形D6F-P、形D6F-PHを除く)
( 2 )適応流体以外の可燃性ガス(水素など)、腐食性ガス(塩素、硫黄、酸、アルカリなど)は故障の原因となりますのでご使用にならないでください。
( 3 )適用流体以外の流体については性能保証範囲外となります。
( 4 )配管内への異物の混入は故障の原因となるため、梱包袋から取り出した後は配管内に異物が入らないようにしてください。
( 5 )配管の取り付けは、本体に表示された矢印の方向に流体が流れるようにしてください。誤配管の状態では正しい計測ができません。(形D6F-V/-P/-PHを除く)
( 6 )配管の取りつけ方向は、水平を推奨します。 水平にならない場合は±1%F.S.以上の誤差の原因となる可能性があります。(形D6F-A3を除く)
( 7 )センサの設置は、平面に行ってください。正しく取り付けられていない場合、故障の原因や正しい計測ができない場合があります。
( 8 )センサの設置は、設備の電源をOFF にした状態で行ってください。電源がONの状態で作業を行うと、感電や誤動作などの原因となります。
( 9 )センサの設置後は、必ず動作確認を実施してください。
( 10 )センサを落下させたり、カバーなどを分解しないでください。

<形D6F-A6>

( 1 )配管の取り付けには、適合する管用ねじ(R1/4、NPT1/8、NPT1/2)を使用し、締め付けトルクは5N・m以下としてください。これを超えて締め付けを行うと割れが発生する恐れがあり、漏れの原因となるため注意してください。配管は接続部(アルミ合金)をスパナまたはレンチではさみ、接続してください。本体部(PPS)をつかんで締め付けを行うと、本体の破損やリーク不良の原因となります。配管のシール剤は適量をつけ、ねじ部の先端から2山には塗らないでください。また、配管締め付け時に異物噛み込み、油分付着がないようにしてください。
( 2 )センサの設置には、M3なべねじを使用し、締め付けトルクは0.59N・m以下としてください。

●使用環境について

下記の環境では使用しないでください。
・加熱機器からの輻射熱を直接受けるところ
・水、油のかかるところ
・直接日光があたるところ
・温度変化の激しいところ
・氷結、結露の恐れのあるところ
・振動、衝撃の影響が大きいところ

●ノイズ対策について

ノイズにより正しい計測ができない場合があります。使用にあたり以下の配慮を行ってください。
・強い高周波を発生する機器(高周波ウェルダ、高周波ミシンなど)やサージを発生する機器から、できるだけ離して設置してください。
・ノイズを発生している周辺機器(特に、モータ、トランス、ソレノイド、マグネットコイルなどのインダクタンス成分を持つもの)には、サージアブソーバやノイズフィルタ等のノイズ対策を実施してください。(配管やダクトを別にする、シールド線を使用するなどの方法も効果があります。)

●電源について

・本製品に接続するコネクタ端子の挿入は20N以下で行ってください。電線の引き回しは、コネクタに電線の曲げによるテンション以上の力が加わらないように配慮してください。またコネクタの挿抜は、電線を一括保持し、嵌合軸に対して同軸上に挿入し、引抜は15°以内の角度で行ってください。
・コネクタ接続端子に直接はんだ付けすると故障の原因になるため適用のコネクタを使用してください。(形D6F-PHを除く)
・端子名称および極性を確認して正しく配線してください。誤配線すると内部の部品の故障の原因となります。
・市販のスイッチングレギュレータを使用の際には、FG(フレームグランド端子)およびG(グランド端子)を接地してください。

●取り扱いについて

本製品は精密機器であり、落下させたり過度な衝撃、力を加えたりすると故障や特性変化を起こしますので、落下させたり、分解したり、必要以上に端子部に力を加えないでください。落下した製品は使用しないでください。
・本製品は、管理された静電気放電保護エリア内で取り扱いを行ってください。

RoHS 指令について

RoHS規制6物質の使用を廃止した製品(工程内および基板搭載電子部品含む)には、梱包にRoHSマークを表示しています。
※ 仕入先様の事情により、RoHS対応済み部品としていたものが、RoHS非対応品と判明した場合などやむなく削除することがあります。

●RoHS適合判定基準

RoHS指令6物質の適合判定は次の基準を用いています。
(RoHS指令適用除外項目は除く)
・ 鉛:1000ppm以下
・ 六価クロム:1000ppm以下
・ 水銀:1000ppm以下
・ PBB :1000ppm以下
・ カドミウム:100ppm以下
・ PBDE :1000ppm以下