MEMSフローセンサ
- 製品特長
- 燃料電池の発電効率を最大化させる高精度なMEMSフローセンサ
燃料電池の発電効率を最大化させる
高精度なMEMSフローセンサ
MEMSフローセンサは、環境負荷の低い次世代エネルギーとして注目されている燃料電池システムの部品として、重要な役割を担っています。
燃料電池は、都市ガスに含まれる水素と空気中の酸素とを化学反応させることで発電する仕組みです。発電効率を最大化するためには水素と酸素を最適な混合比で燃焼させる必要があり、ここでMEMSフローセンサの高精度な測定技術が活かされています。
オムロンは独自の超微細加工技術により、流速検出素子を組み込んだMEMSフローセンサを開発。わずか1mm/sの気体の流速変化までも検出する世界最高クラスの感度を誇ります。燃料電池の普及とともに、小型、高性能のオムロンのMEMSフローセンサの有用性がますます期待されます。
技術情報：気体流量測定技術
気体流量測定技術で、わずか1mm/sの気体の流れを測る
微量の流速を測定するためには、MEMSフローセンサの検出部分であるMEMSフローセンサチップをより小さくしなければなりません。そこでオムロン独自の高度な加工技術を駆使し、世界最小クラス(1.55mm x 1.55mm 厚み0.4mm)を実現しました。
測定原理としては、図のように気体の流れのない状態ではヒータを中心とした温度分布が左右対称となりますが、気体が流れるとヒータから出る風の上側が冷え、風の下側が暖まることで、温度平衡状態が崩れます。この温度差は両熱電対の起電力差として現れ、流速および流量の測定を可能にします。
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