オムロンのMEMSフローセンサは、オムロン独自開発のMEMSフローセンサ素子を使い、 温度、圧力の影響が少なく、高精度で流量域の広い気体流量計測を可能としました。 装置への組み込みを前提とした仕様で、様々なアプリケーションをご提案いたします。