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RF MEMSスイッチ 形2SMES-01
RF MEMSスイッチ
□オムロンRF MEMSスイッチは、
MEMS設計技術、高周波設計技術を活かし、
量産性および信頼性に優れています。
□5.2×3.0×1.8mmの小型サイズで、10GHｚの高周波伝送が可能です。
□オムロンRF MEMSスイッチは、
MEMS設計技術、高周波設計技術を活かし、
量産性および信頼性に優れています。
□5.2×3.0×1.8mmの小型サイズで、10GHｚの高周波伝送が可能です。
独自の3次元微細加工技術により、MEMSチップサイズ2.3×1.9×0.9mmと世界最小クラスを実現。この小型チップをパッケージングすることで5.2×3.0×1.8mm 単極双投の超小型のRFスイッチを実現
チップ、パッケージのトータルでの高周波伝送線路を最適化することで10GHzの高周波伝送に対応
接点形成技術とウェハレベルパッケージング技術により1億回以上の開閉信頼性を確保
静電アクチュエータを採用することで、10μWの低消費電力を実現
MEMSチップ構造
主な仕様
＜定格（推奨値）＞
| 駆動電圧 | 34V |
|---|---|
| 使用温度範囲 | -20℃から85℃ |
＜仕様（参考）＞
| 接点構成 | SPDT |
|---|---|
| サイズ | 5.2×3.0×1.8mm |
| 特性インピーダンス | 50Ω |
| インサーションロス（10GHz） | 1dB（Typical) |
| アイソレーション（10GHz） | 30dB（Typical) |
| リレー抵抗 | 1500mΩ以下 |
| 動作、復帰時間 | 100μsec以下 |
| 消費電力 | 10μW以下 |
| 開閉寿命 | 1億回（0.5mA 0.5V 抵抗負荷） |
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