MEMSフローセンサセレクション

蝶の羽ばたきさえも検知する、高精度な流量計測を実現します

蝶々の羽ばたきほどの微小な気体の流れを高精度に検知する、オムロンのMEMSフローセンサ。

温度・圧力に影響されない「質量流量計測」が可能な気体流量センサです。

高精度 高感度 小型

質量流量計測について

Q1 2つの風船、体積は違います。でも質量は同じ?
A
体積は、圧力や温度によって、膨張収縮します。一方、質量は環境変化があっても一定です。 質量流量計測では、この環境の変化に左右されない計測が可能です。
Q1 どうして、質量流量計測が必要なの?
A
化学反応に基づく燃焼制御では、正確な流量で制御が必要です。 オムロンのフローセンサはこの質量流量計測に基づき、気体の流量を計測します。

MEMSフローセンサの計測原理

形D6Fシリーズ

気体の流れがない状態
流れのない状態では、ヒータを中心とした温度分布が左右対称となります。流れのある状態ではヒータの風上側の温度が低く、風下側が高くなり、温度分布の対称性が崩れます。
気体の流れがある状態
この温度差をサーモパイルの起電力差としてセンシングすることで、温度・圧力に影響されない流量・流速を計測することができます。また、サーモパイルは熱起電力方式のため、 抵抗式に比べ低消費電力化に貢献します。

MEMSフローセンサの計測原理

-ダスト分離機構(サイクロン方式)搭載-

形D6F-W/-V/-P

耐ダスト構造により、設置場所を選びません

オムロン独自の立体流路構造により、ダストを分離してセンサチップへ影響を低減することで高信頼性を実現。さらに小型化により、幅広いアプリケーションに対応可能。

耐ダスト構造
外部の流れ