特許第5790178号
白色同軸共焦点方式の計測センサ

受光した光の色(波長)に基づいて、対象物の微細な凹凸、高さ、傾きを高精度に計測できるセンサの基本特許

発明の背景

デジタル製品等の製造現場では、対象物の材質によらず、対象物上の微細な凹凸・高さ・傾きを高精度に計測できるセンサが必要とされます。しかし、三角測距方式のセンサでは対象物の高さや角度よって計測誤差が発生してしまいます。

発明の概要

この発明は、ワークの角度の変化や、高さの変動があっても安定した計測を可能にします。具体的には、白色光を色(波長)ごとに軸上の異なる高さで焦点を結ぶように対象物へ照射し、ワーク上で焦点を結んだ色(波長)の光だけが戻ってくるようにします。これにより戻ってきた光の色(波長)を検知すること対象物までの距離を測定することができます。
この発明を使うことで、対象物の材質によらず、微細な凹凸・高さ・傾きを高精度に計測でき、しかも三画測距方式のセンサに比べて小型なので、取り付け位置、装置への組込みの自由度が高い計測センサを実現できます。

発明の概要イメージ

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